真空抽氣機(jī)組概況及原理
ZJP型帶旁通閥羅茨真空泵,是ZJ型羅茨真空泵的派生產(chǎn)品,抽氣原理與ZJ型泵一樣,它也是利用一對(duì)8字形轉(zhuǎn)子在泵殼中保持一定的間隙,作等速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的。所不同的是ZJP型帶旁通閥羅茨真空泵的進(jìn)、排氣口相連通,在二者的通道上垂直地安裝著一個(gè)重力閥。其作用是當(dāng)進(jìn)氣口和排氣口的壓力差與閥的有效作用面積的乘積超過(guò)閥頭的自重時(shí),閥頭就自動(dòng)頂開(kāi)。這個(gè)數(shù)值是泵可靠運(yùn)轉(zhuǎn)的zui高壓力差值,因此,這種閥實(shí)際上就是一種過(guò)載自動(dòng)保護(hù)閥,也是ZJP 型帶旁通閥羅茨真空泵的zui大優(yōu)點(diǎn)。
真空抽氣機(jī)組主要特點(diǎn):
應(yīng)用范圍:
羅茨真空泵的優(yōu)點(diǎn)是在較低入口壓力時(shí)仍具有較大抽氣速率,但羅茨真空泵不能單獨(dú)使用,必須與前級(jí)真空泵配套使用。當(dāng)前級(jí)真空泵將系統(tǒng)壓力抽到羅茨真空泵允許啟動(dòng)壓力時(shí),才可啟動(dòng)羅茨真空泵。
根據(jù)不同的工作壓力和工藝條件,羅茨真空泵的前級(jí)真空泵可采用油封式機(jī)械真空泵、液環(huán)式真空泵、往復(fù)式真空泵等。配置不同類(lèi)別的前級(jí)真空泵后羅茨真空泵所能達(dá)到的極限壓力有所不同。
羅茨真空泵可廣泛應(yīng)用于需要大抽速和中等真空(10-1 -10-2Pa)的任何真空系統(tǒng)中,例如: 真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗(yàn)、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝設(shè)備、汽車(chē)制造業(yè)、集中真空抽氣系統(tǒng)、各類(lèi)化工處理、真空脫汽 、真空除汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。
規(guī)格參數(shù):
因而用戶(hù)可根據(jù)不同的使用要求來(lái)正確選擇機(jī)組的級(jí)數(shù)。用戶(hù)如有特殊要求也可與本公司直接,由本公司相關(guān)技術(shù)人員來(lái)選型。
真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、油增壓泵、增擴(kuò)泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動(dòng)、手動(dòng)、電動(dòng)閥門(mén)、管道等組成。根據(jù)工藝要求選擇鍍制方式及形式,如電阻蒸發(fā)(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直徑靶材,氣動(dòng)、電動(dòng)的引弧等),真空測(cè)量可選擇數(shù)字式智能真空計(jì)及其優(yōu)質(zhì)的測(cè)量規(guī)管,及其它測(cè)量?jī)x器,如自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀等。